Elektron mikroskopiya — Yüksək dərəcəli böyüdücü mikroskoplar nanotexnologiyada geniş istifadə olunurlar. Burada bir qayda olaraq elektron mikroskopiyasından istifadə olunur ki, bu da sürətləndirilmiş elektron dəstəsinin tətbiqinə əsaslanır.[1] Bu məqsədlər üçün zond mikroskoplarının müxtəlif variantları yaradılmışdır.[2] Öz növbəsində elektron mikroskopiyasında iki əsas istiqamət vardır:
Nazik plyonkadan ibarət obyekt vakuumda (10−6 mm c.süt.) enerjisi 50–200 keV (kiloelektrovolt) olan sürətləndirilmiş elektron dəstəsilə işıqlandırılır. Plyonkadan (obyektdən) keçən və onun atomları tərəfindən müəyyən bucaq altında kənara çıxarılan elektron dəstəsi (elektron şüası) maqnit linzalarının üzərinə düşür və fotoplyonka üzərində daxili quruluşun tam işıqlı təsviri formalaşır. Bu da imkan verir ki, tədqiq olunan obyektin kristallik quruluşa malik olub olmaması haqqında dəqiq nəticə çıxardaq.
Bu üsul əsasən səthdə yerləşmiş nanohissəcikləri tədqiq etmək üçündür. Burada elektron şüaları maqnit linzaları ilə ölçüsü 1–10 nm olan nazik zonda sıxılıb keçirilir ki, oda ardıcıl nöqtədən nöqtəyə obyekt üzrə yerini dəyişir, yəni onu skanirə edir. Elektronların obyektlə qarşılıqlı təsirindən bir neçə tip şüalanma baş verir:
Qeyd edilən şüalanma növlərinin hər biri elektrik siqnalı şəklində reqistrasiya oluna bilərlər.